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全自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)一體機(jī)

概述

描述：全自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)一體機(jī)
適用產(chǎn)品：裸片/帶鐵框
產(chǎn)品尺寸：8”&; 12”
產(chǎn)品厚度：50um-900um
產(chǎn)品翹曲度：500um
掃描方式：2D 線掃
軟體編輯模式：在線或者離線
物鏡：X2.8，X5，X7.5，X10
缺陷檢出能力：2um@5X，1um@10X
過(guò)濾系統(tǒng)：Class 100

詳情內(nèi)容

機(jī)臺(tái)簡(jiǎn)介

描述：全自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)一體機(jī)

適用產(chǎn)品：裸片/帶鐵框

產(chǎn)品尺寸：8”&; 12”

產(chǎn)品厚度：50um-900um

產(chǎn)品翹曲度：500um

掃描方式：2D 線掃

軟體編輯模式：在線或者離線

物鏡：X2.8，X5，X7.5，X10

缺陷檢出能力：2um@5X，1um@10X

過(guò)濾系統(tǒng)：Class 100

適用產(chǎn)品

一般規(guī)格

廠務(wù)過(guò)濾系統(tǒng)	100級(jí)
光學(xué)字符識(shí)別	機(jī)臺(tái)配備了光學(xué)字符識(shí)別器讀取產(chǎn)品的信息
條形讀碼器	基恩士條形讀碼器
條形讀碼器	手動(dòng)條形讀碼
自動(dòng)化	RORZE 雙手臂
自動(dòng)化	300mm 平臺(tái)
雙進(jìn)料平臺(tái)	配備8/12寸鐵框入料平臺(tái)
雙進(jìn)料平臺(tái)	根據(jù)客戶需求可配置8/12寸裸片入料平臺(tái)
機(jī)械結(jié)構(gòu)	根據(jù)客戶要求配備
	12寸切割后標(biāo)準(zhǔn)配置
	8寸切割后標(biāo)準(zhǔn)配置
軟體	自主研發(fā)的2D掃描算法
	表面檢驗(yàn)算法
	切割后檢測(cè)算法
	2D 計(jì)量算法
	可編輯多種程式
地圖格式	可多種格式
半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)	配備

產(chǎn)品尺寸	8" & 12"
產(chǎn)品類型	標(biāo)準(zhǔn)：帶鐵框產(chǎn)品；可選擇：裸片產(chǎn)品
產(chǎn)品厚度	50μm-900μm
產(chǎn)品翹曲度	500um
晶粒偏移	50um
最小晶粒尺寸	100um * 100um
全自動(dòng)從傳送	帶鐵框產(chǎn)品和裸片產(chǎn)品可全自動(dòng)傳送
傳送手臂	雙手臂
破片率	不超過(guò) 1/100,000
光學(xué)字符識(shí)別	機(jī)臺(tái)內(nèi)部上方配備
操作模式	在線和離線
電腦配置	工業(yè)電腦
離線模式功能	支持改機(jī)，復(fù)判等一系列操作
條形讀碼器（支持自動(dòng)或者手動(dòng)）	單個(gè)或兩個(gè)條形讀碼器，可選擇手動(dòng)模式

基礎(chǔ)規(guī)格

地圖格式	導(dǎo)入: .txt & .xlsx & .dwt
地圖格式	輸出: .txt & .xlsx & .jpg
掃描之后給挑揀的地圖格式	標(biāo)準(zhǔn)格式
缺陷地圖格式	標(biāo)準(zhǔn)格式
切割后檢測(cè)	標(biāo)準(zhǔn)格式
墨點(diǎn)地圖	標(biāo)準(zhǔn)格式
離子風(fēng)扇	入料區(qū)和掃描區(qū)各配備一支
報(bào)警燈	三色報(bào)警燈和揚(yáng)聲器
平均故障間隔時(shí)間	≥1000hrs
平均故障修復(fù)時(shí)間	≤ 4hrs
平均輔助間隔時(shí)間	≥ 6hrs
平均維護(hù)時(shí)間	< 20minutes
運(yùn)行時(shí)間	≥95%

檢驗(yàn)規(guī)格

鏡頭和解析度	1.8um/2.8X
	1um/5X
	0.7um/7.5X
	0.5um/10X
檢驗(yàn)?zāi)芰?/div>	2um @ x5, 1um @ X10
缺陷捕獲率	99.5% @ 2 pixels s iz e defects
重復(fù)性	98%
鏡頭測(cè)量能力	Mag x5: 3um @ 3σ
12寸產(chǎn)出率	60WPH @ x2.8（掃描時(shí)間）
	30WPH @ x5（掃描時(shí)間）
	19WPH @ x7.5 （掃描時(shí)間）
	14WPH @x10（掃描時(shí)間）
8寸產(chǎn)出率	95WPH @ x2.8（掃描時(shí)間）
	48WPH @ x5 （掃描時(shí)間）
	30WPH @ x7.5 （掃描時(shí)間）
	22WPH @x10 （掃描時(shí)間）
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